【快速退火爐】（RapidThermalProcessing，簡稱RTP），是采用紅外燈管加熱技術(shù)和腔體冷壁技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，以此來實(shí)現(xiàn)特定熱處理工藝。其核心主要用途要以集成電路領(lǐng)域（以硅為代表的第一代半導(dǎo)體）和光電子領(lǐng)域（以砷化鎵代表的第二代半導(dǎo)體）為代表的半導(dǎo)體領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工藝中，熱處理/退火是必不可少的工藝，主要是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件都是為實(shí)現(xiàn)功能化，這也就意味著電信號的輸入/輸出，這些都要金屬電極來協(xié)助完成。想要能得到好的接觸，就必須通過退火/擴(kuò)散工藝來進(jìn)行優(yōu)化。自然，金屬合金化只是快速退火爐其中的一個(gè)都是較為很重要的一個(gè)功能，在別的相關(guān)領(lǐng)域還有其他應(yīng)用。
不難看出，【快速退火爐】是半導(dǎo)體工藝設(shè)備中及其關(guān)鍵的一份子?？墒?，怎么選擇快速退火爐，都是廣大科研人員的一件難題。要不價(jià)格高超了經(jīng)費(fèi)預(yù)算！要不買了卻用不上，設(shè)備性能不能滿足工藝參數(shù)！或是，購買后問題持續(xù)，售后服務(wù)也難求！所以，今天 就給大家說一下，快速退火爐的關(guān)鍵參數(shù)和信息。我們從以下幾個(gè)方面篩選，就能少走彎路！
一、生產(chǎn)商
俗話說得好，打鐵還需自身硬！一個(gè)好產(chǎn)品，離不了一個(gè)好的公司！一個(gè)公司一定要通過專利不斷積累技術(shù)積累，及其不脫離銷售市場和用戶的心態(tài)，才能制造出一個(gè)滿足用戶預(yù)期的產(chǎn)品。所以，選擇快速退火爐首先要考慮生產(chǎn)廠家的硬實(shí)力！
3.溫度均勻性
快速退火爐的溫度均勻性，就是有效加熱區(qū)內(nèi)的溫度穩(wěn)定在目標(biāo)溫度后，樣品上不同點(diǎn)位的溫度的最大值和最小值之差。這個(gè)參數(shù)關(guān)系著退火效果的質(zhì)量。對此，國標(biāo)GB/T9452-2012《熱處理爐有效加熱區(qū)測定方法》中明確的要求。
3.溫度均勻性
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【快速退火爐】的溫度均勻性，就是說合理有效加熱區(qū)內(nèi)的溫度穩(wěn)定在目的溫度后，樣品上不同點(diǎn)位的溫度的最大值和最小值之差。這一參數(shù)關(guān)乎著退火效果的質(zhì)量。對于此事，國標(biāo)GB/T9452-2012《熱處理爐合理有效加熱區(qū)測定方法》中列明的具體要求。
